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        burkert寶德8746型熱式氣體質量流量控制器20001765深度解析
        更新時間:2025-04-01 點擊量:411

        burkert寶德8746型熱式氣體質量流量控制器20001765深度解析

        8746型熱式氣體質量流量控制器*10nm3/h,NH3,316L基座,G1/4寸,標定壓力2bar,4-20mA

        控制器| NH3 | 10,000 nm3 /h | 24v DC |內螺紋- G1/4" | 4-20 mA

        工作原理

        核心原理:

        通過測量氣體流動對熱量的傳遞影響,計算質量流量。控制器包含兩個溫度傳感器:

        上游傳感器:測量氣體未受加熱時的溫度。

        下游傳感器:位于加熱元件后,測量氣體吸收熱量后的溫度。

        當氣體流動時,加熱元件的熱量被氣體帶走,導致上下游傳感器產生溫差(ΔT)。控制器通過調整加熱功率維持恒定溫差,加熱功率的變化與氣體質量流量成正比。

        burkert寶德8746型熱式氣體質量流量控制器20001765深度解析

        技術優勢

        高精度誤差通常小于1%,重復性優異,滿足高精度控制需求

        快速響應響應時間幾毫秒內,適應快速變化的流量場景

        寬量程比量程比可達100:1,覆蓋低流速到大流量需求

        無需溫壓補償直接測量質量流量,簡化系統復雜度

        低流速靈敏對微小流量變化敏感,適用于精密控制

        氣體兼容性強可測量單一或混合氣體

        應用場景

        半導體制造:

        用于CVD(化學氣相沉積)、蝕刻、擴散等工藝的氣體流量控制,確保工藝穩定性和產品良率。

        環境監測:

        稀釋標準氣體,監測空氣質量,支持環保評估。

        化工與能源:

        控制反應釜氣體進料、燃氣爐空氣-燃料配比,優化能源效率。

        醫療與實驗室:

        提供精確的氣體混合比例,支持生物反應器、氣相色譜儀等設備。

        環保與新能源:

        監測煙氣排放、控制清潔能源(如氫氣)的輸送。

        未來展望

        技術融合:集成AI算法提升自適應能力,優化復雜工況下的控制精度。

        材料創新:開發耐腐蝕、耐高溫的新型傳感器,拓寬應用領域。

        綠色制造:推動節能設計,降低設備功耗和碳排放。

        burkert寶德8746型熱式氣體質量流量控制器20001765深度解析


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